铝掺杂氧化锌薄膜的扫描电镜形貌观察条件研究
PDF下载 (340)王 琴,张 科,胡子阳,诸跃进 *.铝掺杂氧化锌薄膜的扫描电镜形貌观察条件研究[J].宁波大学学报(理工版),2015,28(04):80-83.DOI:
WANG Qin,ZHANG Ke,HU Zi-yang,ZHU Yue-jin *.Study: Conditions for Morphology of Aluminum-doped Zinc Oxide Thin Film by Scanning Electron Microscope[J].Journal of Ningbo University(Natural Science & Engineering Edition),2015,28(04):80-83.DOI:
| Title: | Study: Conditions for Morphology of Aluminum-doped Zinc Oxide Thin Film by Scanning Electron Microscope |
| 作者: | 王 琴, 张 科, 胡子阳, 诸跃进 * |
| Author(s): | WANG Qin, ZHANG Ke, HU Zi-yang, ZHU Yue-jin * |
| 关键词: | 扫描电镜; 形貌; 铝掺杂氧化锌薄膜 |
| Keywords: | scanning electron microscope; morphology; aluminum-doped zinc oxide thin film |
| 分类号: | O625 |
| 文献标识码: | A |
| 摘要: | 利用日立SU70场发射扫描电镜对铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜进行形貌观察. 针对AZO薄膜特点, 使用多种测试条件探讨了不同测试条件对薄膜形貌的影响. 通过测试结果对比, 获得了测定薄膜形貌的最佳条件. 结果显示: 加速电压为5kV, 工作距离为10mm, 探测器为混合探测器(Mix), 电子强度为high模式时, 得到的扫描电镜图片最佳. |
| Abstract: | In this paper, the morphology of transparent conductive aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin film is observed using Hitach SU70 Scanning Electron Microscope(SEM). Based upon the characteristics of AZO thin film, the various testing conditions are investigated and the influence of a variety of testing conditions on the morphology of the film is discussed. The results indicate that the accelerating voltage is 5kV, the work distance is 10mm, the detector is Mix-detector and the electronic strength is set at high mode. Satisfying all the conditions stated afore, the best SEM images will be obtained. |
| 参考文献 /References: | [1] 朴玲玉, 常怀秋, 刘军涛, 等. 二氧化硅微球的扫描电镜测长及形貌观察条件[J]. 电子显微学报, 2008, 27(5): 384-389. [2] 吴立新, 陈方玉. 现代扫描电镜的发展及其在材料科学中的应用[J]. 武钢技术, 2005, 43(6):36-40. [3] 王玉平, 朱宝龙, 陈强. 软粘土扫描电镜和能谱分析试验[J], 西华大学学报: 自然科学版, 2010, 29(5):63-65. [4] 徐柏森, 杨静. 实用电镜技术[M]. 南京: 东南大学出版社, 2008:10-11. [5] 牟善彬. 扫描电镜在陶瓷材料中的应用[J]. 佛山陶瓷, 2001(9):27-29. [6] 高珊, 谷景华, 张跃. 溶剂热法制备铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜[J]. 无机化学学报, 2010, 26(1):55-60. [7] 洪瑞江, 徐淑华. 掺铝氧化锌薄膜的结构与刻蚀性能[J]. 华南理工大学学报: 自然科学版, 2010, 38(6):151- 156. [8] 杨健茂, 刘晓云, 路平, 等. 不均勾易损伤静电纺丝样品扫描电镜表征[J]. 实验室研究与探索, 2013, 32(10): 253-255. [9] 周莹, 王虎, 吴伟, 等. 二次电子探测器选择对FESEM图像的影响[J]. 实验室研究与探索, 2012, 31(7):246- 248. |
| 备注/Memo: | 收稿日期: 2015-03-18. 宁波大学学报（理工版）网址: http://journallg.nbu.edu.cn/ 基金项目: 国家自然科学基金（11374168）; 浙江省重中之重学科开放基金（XKZWL1512）. 第一作者: 王琴（1978－）, 女, 湖北天门人, 硕士/实验师, 主要研究方向: 无机非金属材料. E-mail: wangqin@nbu.edu.cn *通信作者: 诸跃进（1958－）, 男, 浙江临安人, 博士/教授, 主要研究方向: 凝聚态物理及纳米材料. E-mail: zhuyuejin@nbu.edu.cn 宁波大学学报（理工版）网址：http://journallg.nbu.edu.cn/ |
